1.
1 ila 100 mikron arası büyüklüklerde olan, airbag sistemlerinden yazıcılara kadar birçok yere entegre edilebilen ve kısaca mems olarak da bilinen minyatür sistemler. bazı durumlarda biraz daha küçük olabilirler ve nanoteknoloji alanında da kullanılırlar.
bu sistemler genellikle bilgiyi toplayan sensör ve komutları uygulayan aktüatör adlı iki bölümden oluşur. başta silikon olmak üzere çeşitli metal ve yalıtkan malzemelerin ince katmanlar halinde bir araya getirilmesiyle yapılırlar. malzemenin üzerinde mikroskobik boyutlarda 3 boyutlu tırtıklı bir yüzey oluşturulur.
elektrik iletkenliği olan metal bileşenler veriyi toplayan sensörleri oluştururken, diğer bileşenler aktüatör kısmını oluşturur.
yukarıda airbag demişken onun üzerinden örnek vereyim. bir otomobil seyir halindeyken hızı sürekli olarak değişir. ancak biliyoruz ki ani frenler ya da çarpışmalar dışındaki değişimler hızlı değildir ve daha yumuşak geçişler gösterir. airbag'e ait mems, sürekli olarak bu geçişleri algılayan oynar başlıklı bir parçaya sahiptir.
araba bir kaza anında ya da sert bir fren yaptığında aniden durur. ivmedeki bu sert değişim, mems'in sensörü tarafından algılanır ve daha öncekiler gibi mikroişlemciye iletilir. tehlikeli boyutta olan bu ani değişim algılanınca hava yastığı açılır ve böylece kazanın hayati riski azaltılmış olur.
bu sistemler genellikle bilgiyi toplayan sensör ve komutları uygulayan aktüatör adlı iki bölümden oluşur. başta silikon olmak üzere çeşitli metal ve yalıtkan malzemelerin ince katmanlar halinde bir araya getirilmesiyle yapılırlar. malzemenin üzerinde mikroskobik boyutlarda 3 boyutlu tırtıklı bir yüzey oluşturulur.
elektrik iletkenliği olan metal bileşenler veriyi toplayan sensörleri oluştururken, diğer bileşenler aktüatör kısmını oluşturur.
yukarıda airbag demişken onun üzerinden örnek vereyim. bir otomobil seyir halindeyken hızı sürekli olarak değişir. ancak biliyoruz ki ani frenler ya da çarpışmalar dışındaki değişimler hızlı değildir ve daha yumuşak geçişler gösterir. airbag'e ait mems, sürekli olarak bu geçişleri algılayan oynar başlıklı bir parçaya sahiptir.
araba bir kaza anında ya da sert bir fren yaptığında aniden durur. ivmedeki bu sert değişim, mems'in sensörü tarafından algılanır ve daha öncekiler gibi mikroişlemciye iletilir. tehlikeli boyutta olan bu ani değişim algılanınca hava yastığı açılır ve böylece kazanın hayati riski azaltılmış olur.
devamını gör...